报告题目：微纳制造技术的研究进展

报告人：蒋庄德院士

时 间：2015年4月16日（周四）下午2：30

地 点：南区图书馆北八楼学术报告厅

欢迎全体师生参加！

机电学院

2015年4月14日

报告内容：

微纳制造技术是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术，是集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程与微电子工程所产生的新兴、交叉前沿学科技术。报告首先介绍了微纳制造技术的发展历程及重要意义、MEMS/NEMS加工技术及器件、微纳器件集成制造技术及系统、石墨烯的研究现状及其进展；然后以西安交大精密工程研究所在微纳技术领域的研究进展和成果为例，进一步展示微纳米技术及其器件在不同领域中的运用。

报告人简介：

蒋庄德，中国工程院院士，西安交通大学教授，博士，澳大利亚新南威尔士大学客座教授。曾任西安交通大学副校长，现任全国人大常委会委员，陕西省科协主席，西安交通大学精密工程研究所所长；兼任中国微米纳米技术学会副理事长、中国机械工业教育协会副理事长、中国机械工程学会常务理事、中国计量测试学会常务理事、陕西省机械工程学会理事长等；担任国务院学位委员会第七届学科评议组机械工程学科成员，国家科学技术奖励委员会委员、机械学科评审组组长；曾担任国家自然科学基金委员会机械学科评审组成员，国家高技术研究发展计划（863计划）十一五先进制造技术领域专家组专家等。长期从事微纳制造和精密测量与精密加工技术与装备等方面的研究，在耐高温压力传感器及系列MEMS器件、数字化精密测量技术与装备的工程科技领域做出了重要贡献，在微纳米技术相关基础理论等方面开展了创新性研究。以第一完成人，获国家技术发明二等奖和国家科技进步二等奖及其他省部级奖励共9项，获2014年何梁何利基金“科学与技术进步奖”。指导毕业博士和硕士研究生100多名，其中1名获全国百篇优秀博士论文。主编论著2本，发表论文300余篇，其中SCI、EI收录200余篇、ISTP收录80余篇；授权发明专利70余项、软件著作权15项。多次担任国际国内重要学术会议的大会主席等。